Study on the excimer laser annealed amorphous hydrogenated silicon carbon films deposited by PECVD
AMBROSONE, GIUSEPPINA and COSCIA, UBALDO (2010) Study on the excimer laser annealed amorphous hydrogenated silicon carbon films deposited by PECVD. [Pubblicazione su rivista scientifica] Full text non disponibile da questo archivio.
| Tipologia di documento: | Pubblicazione su rivista scientifica |
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| Settori scientifico-disciplinari MIUR: | Non specificato |
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| Stato del full text: | Accessibilità ristretta |
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| Data: | 2010 |
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| Altri Autori: | G. Ambrosone, D.K. Basa, U. Coscia, E. Tresso, A. Chiodoni, E. Celasco, N. Pinto |
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| Numero di pagine: | 3 |
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| Intervallo di pagina: | pp.
770-773 |
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| Volume: | 7 |
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| Numero: | 3-4 |
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| Dipartimento o Struttura: | Dipartimento di Scienze Fisiche |
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| Titolo rivista/pubblicazione: | PHYSICA STATUS SOLIDI. C |
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| Numero di sistema: | 7714 |
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| Depositato il: | 21 Ottobre 2010 09:39 |
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| Ultima modifica: | 21 Ottobre 2010 09:39 |
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