Study on the excimer laser annealed amorphous hydrogenated silicon carbon films deposited by PECVD

AMBROSONE, GIUSEPPINA and COSCIA, UBALDO (2010) Study on the excimer laser annealed amorphous hydrogenated silicon carbon films deposited by PECVD. [Pubblicazione su rivista scientifica]

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Tipologia di documento:Pubblicazione su rivista scientifica
Settori scientifico-disciplinari MIUR:Non specificato
Stato del full text:Accessibilità ristretta
Data:2010
Altri Autori:G. Ambrosone, D.K. Basa, U. Coscia, E. Tresso, A. Chiodoni, E. Celasco, N. Pinto
Numero di pagine:3
Intervallo di pagina:pp. 770-773
Volume:7
Numero:3-4
Dipartimento o Struttura:Dipartimento di Scienze Fisiche
Titolo rivista/pubblicazione:PHYSICA STATUS SOLIDI. C
Numero di sistema:7714
Depositato il:21 Ottobre 2010 09:39
Ultima modifica:21 Ottobre 2010 09:39

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