Daliento, Santolo and Spirito, Paolo and Gialanella, Lucio and Limata, Benedicta Norman and Romano, Mario (2006) Experimental measurement of in-depth secondary defect distribution prodced by Helium implantation in silicon. [Pubblicazione in rivista scientifica]
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Titolo: | Experimental measurement of in-depth secondary defect distribution prodced by Helium implantation in silicon |
Autori: | Autore Email Daliento, Santolo [non definito] Spirito, Paolo [non definito] Gialanella, Lucio [non definito] Limata, Benedicta Norman [non definito] Romano, Mario [non definito] |
Autore/i: | S. DALIENTO; MELE L.; P. SPIRITO; GIALANELLA L; LIMATA B.N; ROMANO M |
Data: | 2006 |
Numero di pagine: | 0 |
Dipartimento: | Scienze fisiche |
Titolo del periodico: | NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH. SECTION B, BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS |
Data: | 2006 |
Volume: | 253 |
Intervallo di pagine: | pp. 90-93 |
Numero di pagine: | 0 |
Depositato il: | 20 Ott 2010 08:01 |
Ultima modifica: | 30 Apr 2014 19:42 |
URI: | http://www.fedoa.unina.it/id/eprint/6409 |
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