Experimental measurement of in-depth secondary defect distribution prodced by Helium implantation in silicon

DALIENTO, SANTOLO and SPIRITO, PAOLO and GIALANELLA, LUCIO and LIMATA, BENEDICTA NORMAN and ROMANO, MARIO (2006) Experimental measurement of in-depth secondary defect distribution prodced by Helium implantation in silicon. [Pubblicazione su rivista scientifica]

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Tipologia di documento:Pubblicazione su rivista scientifica
Settori scientifico-disciplinari MIUR:Non specificato
Stato del full text:Accessibilità ristretta
Data:2006
Altri Autori:S. DALIENTO; MELE L.; P. SPIRITO; GIALANELLA L; LIMATA B.N; ROMANO M
Numero di pagine:0
Intervallo di pagina:pp. 90-93
Volume:253
Dipartimento o Struttura:Dipartimento di Scienze Fisiche
Titolo rivista/pubblicazione:NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH. SECTION B, BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
Numero di sistema:6409
Depositato il:20 Ottobre 2010 10:01
Ultima modifica:20 Ottobre 2010 10:01

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