Daliento, Santolo and Spirito, Paolo and Gialanella, Lucio and Limata, Benedicta Norman and Romano, Mario
(2006)
Experimental measurement of in-depth secondary defect distribution prodced by Helium implantation in silicon.
[Pubblicazione in rivista scientifica]
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Tipologia del documento: |
Pubblicazione in rivista scientifica
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Titolo: |
Experimental measurement of in-depth secondary defect distribution prodced by Helium implantation in silicon |
Autori: |
Autore | Email |
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Daliento, Santolo | [non definito] | Spirito, Paolo | [non definito] | Gialanella, Lucio | [non definito] | Limata, Benedicta Norman | [non definito] | Romano, Mario | [non definito] |
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Autore/i: |
S. DALIENTO; MELE L.; P. SPIRITO; GIALANELLA L; LIMATA B.N; ROMANO M |
Data: |
2006 |
Numero di pagine: |
0 |
Dipartimento: |
Scienze fisiche |
Titolo del periodico: |
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH. SECTION B, BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS |
Data: |
2006 |
Volume: |
253 |
Intervallo di pagine: |
pp. 90-93 |
Numero di pagine: |
0 |
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Depositato il: |
20 Ott 2010 08:01 |
Ultima modifica: |
30 Apr 2014 19:42 |
URI: |
http://www.fedoa.unina.it/id/eprint/6409 |
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