Experimental measurement of in-depth secondary defect distribution prodced by Helium implantation in silicon
DALIENTO, SANTOLO and SPIRITO, PAOLO and GIALANELLA, LUCIO and LIMATA, BENEDICTA NORMAN and ROMANO, MARIO (2006) Experimental measurement of in-depth secondary defect distribution prodced by Helium implantation in silicon. [Pubblicazione su rivista scientifica] Full text non disponibile da questo archivio.
| Tipologia di documento: | Pubblicazione su rivista scientifica |
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| Settori scientifico-disciplinari MIUR: | Non specificato |
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| Stato del full text: | Accessibilità ristretta |
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| Data: | 2006 |
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| Altri Autori: | S. DALIENTO; MELE L.; P. SPIRITO; GIALANELLA L; LIMATA B.N; ROMANO M |
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| Numero di pagine: | 0 |
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| Intervallo di pagina: | pp.
90-93 |
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| Volume: | 253 |
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| Dipartimento o Struttura: | Dipartimento di Scienze Fisiche |
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| Titolo rivista/pubblicazione: | NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH. SECTION B, BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS |
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| Numero di sistema: | 6409 |
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| Depositato il: | 20 Ottobre 2010 10:01 |
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| Ultima modifica: | 20 Ottobre 2010 10:01 |
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