Daliento, Santolo and Spirito, Paolo and Gialanella, Lucio and Limata, Benedicta Norman and Romano, Mario (2006) Experimental measurement of in-depth secondary defect distribution prodced by Helium implantation in silicon. [Pubblicazione in rivista scientifica]

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Tipologia del documento: Pubblicazione in rivista scientifica
Titolo: Experimental measurement of in-depth secondary defect distribution prodced by Helium implantation in silicon
Autori:
AutoreEmail
Daliento, Santolo[non definito]
Spirito, Paolo[non definito]
Gialanella, Lucio[non definito]
Limata, Benedicta Norman[non definito]
Romano, Mario[non definito]
Autore/i: S. DALIENTO; MELE L.; P. SPIRITO; GIALANELLA L; LIMATA B.N; ROMANO M
Data: 2006
Numero di pagine: 0
Dipartimento: Scienze fisiche
Titolo del periodico: NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH. SECTION B, BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
Data: 2006
Volume: 253
Intervallo di pagine: pp. 90-93
Numero di pagine: 0
Depositato il: 20 Ott 2010 08:01
Ultima modifica: 30 Apr 2014 19:42
URI: http://www.fedoa.unina.it/id/eprint/6409

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