Microcrystalline silicon-carbon films deposited by silane-methane mixture highly diluted in hydrogen

COSCIA, UBALDO and AMBROSONE, GIUSEPPINA and MADDALENA, PASQUALINO (2006) Microcrystalline silicon-carbon films deposited by silane-methane mixture highly diluted in hydrogen. [Pubblicazione su rivista scientifica]

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Tipologia di documento:Pubblicazione su rivista scientifica
Settori scientifico-disciplinari MIUR:Non specificato
Stato del full text:Accessibilità ristretta
Data:2006
Altri Autori:COSCIA U; AMBROSONE G; LETTIERI S; P. MADDALENA; FERRERO S
Editore:Elsevier BV:PO Box 211, 1000 AE Amsterdam Netherlands:011 31 20 4853757, 011 31 20 4853642, 011 31 20 4853641, EMAIL: nlinfo-f@elsevier.nl, INTERNET: http://www.elsevier.nl, Fax: 011 31 20 4853598
Numero di pagine:4
Intervallo di pagina:pp. 399-403
Volume:511-512
Dipartimento o Struttura:Dipartimento di Scienze Fisiche
Titolo rivista/pubblicazione:THIN SOLID FILMS
Numero di sistema:6515
Depositato il:20 Ottobre 2010 10:01
Ultima modifica:20 Ottobre 2010 10:01

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