Realization and characterization of silicon nitride thin films embedding Si nanoparticles

Esposito, Emilia Maria (2010) Realization and characterization of silicon nitride thin films embedding Si nanoparticles. [Tesi di dottorato] (Inedito)

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Abstract

This thesis concerns the realization and characterization of silicon nitride thin films embedding Si nanoparticles. The objectives are: 1) to investigate convenient fabrication procedures in application perspective, 2) to improve upon the characterization techniques regarding this material class, and 3) to possibly provide a proof of concept study of quantum confinement to support the implementation of new-generation optoelectronic devices (among which, in particular, the all-silicon tandem solar cells). Different fabrication approaches have been followed: a simpler in-situ route by Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition and a procedure involving a post-deposition annealing step. The samples have been characterized through photoluminescence (at different excitation energies and temperatures), extensive Raman spectroscopy, FTIR, optical absorption, and EFTEM. The research activity has been carried out at ENEA - Portici Research Center in the “Photovoltaic Technologies Section” (now “Portici Technical Unit”).

Tipologia di documento:Tesi di dottorato
Altre informazioni:Istituzione: C. R. ENEA - Portici
Parole chiave:Si nanoparticles, silicon nitride, quantum confinement, Raman spectroscopy, photoluminescence, PECVD
Settori scientifico-disciplinari MIUR:Area 02 Scienze fisiche > FIS/03 FISICA DELLA MATERIA
Area 02 Scienze fisiche > FIS/01 FISICA SPERIMENTALE
Area 09 Ingegneria industriale e dell'informazione > ING-IND/22 SCIENZA E TECNOLOGIA DEI MATERIALI
Coordinatori della Scuola di dottorato:
Coordinatore del Corso di dottoratoe-mail (se nota)
Andreone, Antonelloandreone@unina.it
Tutor della Scuola di dottorato:
Tutor del Corso di dottoratoe-mail (se nota)
Mercaldo, Lucia Vittorialucia.mercaldo@enea.it
Stato del full text:Accessibile
Data:30 Novembre 2010
Numero di pagine:128
Istituzione:Università degli Studi di Napoli Federico II
Dipartimento o Struttura:Scienze fisiche
Tipo di tesi:Dottorato
Stato dell'Eprint:Inedito
Scuola di dottorato:Ingegneria industriale
Denominazione del dottorato:Tecnologie innovative per materiali, sensori ed imaging
Ciclo di dottorato:23
Numero di sistema:8288
Depositato il:09 Dicembre 2010 14:24
Ultima modifica:01 Settembre 2011 11:14

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