Esposito, Emilia Maria (2010) Realization and characterization of silicon nitride thin films embedding Si nanoparticles. [Tesi di dottorato] (Inedito)

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Tipologia del documento: Tesi di dottorato
Lingua: English
Titolo: Realization and characterization of silicon nitride thin films embedding Si nanoparticles
Autori:
AutoreEmail
Esposito, Emilia Mariaem.esposito@gmail.com
Data: 30 Novembre 2010
Numero di pagine: 128
Istituzione: Università degli Studi di Napoli Federico II
Dipartimento: Scienze fisiche
Scuola di dottorato: Ingegneria industriale
Dottorato: Tecnologie innovative per materiali, sensori ed imaging
Ciclo di dottorato: 23
Coordinatore del Corso di dottorato:
nomeemail
Andreone, Antonelloandreone@unina.it
Tutor:
nomeemail
Mercaldo, Lucia Vittorialucia.mercaldo@enea.it
Data: 30 Novembre 2010
Numero di pagine: 128
Parole chiave: Si nanoparticles, silicon nitride, quantum confinement, Raman spectroscopy, photoluminescence, PECVD
Settori scientifico-disciplinari del MIUR: Area 02 - Scienze fisiche > FIS/03 - Fisica della materia
Area 02 - Scienze fisiche > FIS/01 - Fisica sperimentale
Area 09 - Ingegneria industriale e dell'informazione > ING-IND/22 - Scienza e tecnologia dei materiali
Informazioni aggiuntive: Istituzione: C. R. ENEA - Portici
Depositato il: 09 Dic 2010 13:24
Ultima modifica: 30 Apr 2014 19:45
URI: http://www.fedoa.unina.it/id/eprint/8288
DOI: 10.6092/UNINA/FEDOA/8288

Abstract

This thesis concerns the realization and characterization of silicon nitride thin films embedding Si nanoparticles. The objectives are: 1) to investigate convenient fabrication procedures in application perspective, 2) to improve upon the characterization techniques regarding this material class, and 3) to possibly provide a proof of concept study of quantum confinement to support the implementation of new-generation optoelectronic devices (among which, in particular, the all-silicon tandem solar cells). Different fabrication approaches have been followed: a simpler in-situ route by Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition and a procedure involving a post-deposition annealing step. The samples have been characterized through photoluminescence (at different excitation energies and temperatures), extensive Raman spectroscopy, FTIR, optical absorption, and EFTEM. The research activity has been carried out at ENEA - Portici Research Center in the “Photovoltaic Technologies Section” (now “Portici Technical Unit”).

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