De Simone, Luigi (2006) Sviluppo di materiali polimerici e delle loro relative tecnologie di trasformazione per la loro integrazione nella realizzazione di microdispositivi elettronici. [Tesi di dottorato] (Unpublished)

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Item Type:	Tesi di dottorato
Lingua:	Italiano
Title:	Sviluppo di materiali polimerici e delle loro relative tecnologie di trasformazione per la loro integrazione nella realizzazione di microdispositivi elettronici
Creators:	Creators Email De Simone, Luigi UNSPECIFIED
Date:	2006
Date Type:	Publication
Number of Pages:	158
Institution:	Università degli Studi di Napoli Federico II
Department:	Ingegneria dei materiali e della produzione
Dottorato:	Ingegneria chimica, dei materiali e della produzione
Ciclo di dottorato:	18
Coordinatore del Corso di dottorato:	nome email Grizzuti, Nino UNSPECIFIED
Tutor:	nome email Acierno, Domenico UNSPECIFIED
Date:	2006
Number of Pages:	158
Uncontrolled Keywords:	Polimeri, Microdispositivi, Polysilicon
Settori scientifico-disciplinari del MIUR:	Area 09 - Ingegneria industriale e dell'informazione > ING-IND/22 - Scienza e tecnologia dei materiali
Date Deposited:	30 Jul 2008
Last Modified:	30 Apr 2014 19:24
URI:	http://www.fedoa.unina.it/id/eprint/1084
DOI:	10.6092/UNINA/FEDOA/1084

Abstract

Obiettivo del presente lavoro di tesi è stato l’individuazione e la caratterizzazione di substrati polimerici, alternativi ai convenzionali substrati vetrosi, per la realizzazione di microdispositivi elettronici mediante la tecnologia Polysilicon che si basa sull’utilizzo di materiali semiconduttori a film sottile di silicio policristallino depositati a basse temperature. La riduzione dei costi, del peso e la maggiore robustezza meccanica sono tra i principali vantaggi previsti dall’utilizzo di substrati plastici. Due differenti materiali sono stati investigati: PET e AryLite™. Per ogni polimero si è proceduto ad una caratterizzazione completa, sia calorimetrica che meccanica, ed alla messa a punto di un trattamento di stabilizzazione dimensionale. Film sottili di silicio amorfo idrogenato sono stati successivamente depositati sui substrati selezionati; il processo di deposizione è stato ottimizzato. Si è proceduto, quindi, alla cristallizzazione dei suddetti film mediante irradiazione con laser ad eccimeri. Per preservare il substrato polimerico dalla degradazione termica, uno strato di ossido di silicio è stato depositato tra lo strato semiconduttivo e il supporto plastico. Un’analisi statica e dinamica agli Elementi Finiti è stata, infine, effettuata al fine di simulare la risposta della struttura a sandwich in risposta all’applicazione di diversi carichi. Diverse iterazioni sono state eseguite al fine di determinare un comportamento rappresentativo del dispositivo.

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