Daliento, Santolo and Spirito, Paolo and Gialanella, Lucio and Romano, Mario and Limata, Benedicta Norman (2006) Helium implantation in silicon: detailed experimental analysis of resistivity and lifetime profiles as a function of the implantation dose and energy. In: ISPSD 06, giugno 2006, Napoli.
Il contenuto (Full text) non è disponibile all'interno di questo archivio.| Tipologia del documento: | Contributo a Convegno o Workshop ([non definito]) |
|---|---|
| Lingua: | English |
| Titolo: | Helium implantation in silicon: detailed experimental analysis of resistivity and lifetime profiles as a function of the implantation dose and energy |
| Autori: | Autore Email Daliento, Santolo [non definito] Spirito, Paolo [non definito] Gialanella, Lucio [non definito] Romano, Mario [non definito] Limata, Benedicta Norman [non definito] |
| Autore/i: | S.Daliento, L.Mele, P.Spirito, L.Gialanella, M.Romano, B.N.Limata, R.Carta, L.Bellemo |
| Data: | 2006 |
| Numero di pagine: | 0 |
| Dipartimento: | Scienze fisiche |
| Titolo dell'evento: | ISPSD 06 |
| Luogo dell'evento: | Napoli |
| Data dell'evento: | giugno 2006 |
| Data: | 2006 |
| ISBN: | 1-4244-9714-2 |
| Intervallo di pagine: | pp. 153-156 |
| Numero di pagine: | 0 |
| Depositato il: | 18 Ott 2010 08:15 |
| Ultima modifica: | 30 Apr 2014 19:41 |
| URI: | http://www.fedoa.unina.it/id/eprint/5618 |
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