Daliento, Santolo and Spirito, Paolo and Gialanella, Lucio and Romano, Mario and Limata, Benedicta Norman
(2006)
Helium implantation in silicon: detailed experimental analysis of resistivity and lifetime profiles as a function of the implantation dose and energy.
In: ISPSD 06, giugno 2006, Napoli.
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| Tipologia del documento: |
Contributo a Convegno o Workshop
([non definito])
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| Lingua: |
English |
| Titolo: |
Helium implantation in silicon: detailed experimental analysis of resistivity and lifetime profiles as a function of the implantation dose and energy |
| Autori: |
| Autore | Email |
|---|
| Daliento, Santolo | [non definito] | | Spirito, Paolo | [non definito] | | Gialanella, Lucio | [non definito] | | Romano, Mario | [non definito] | | Limata, Benedicta Norman | [non definito] |
|
| Autore/i: |
S.Daliento, L.Mele, P.Spirito, L.Gialanella, M.Romano, B.N.Limata, R.Carta, L.Bellemo |
| Data: |
2006 |
| Numero di pagine: |
0 |
| Dipartimento: |
Scienze fisiche |
| Titolo dell'evento: |
ISPSD 06 |
| Luogo dell'evento: |
Napoli |
| Data dell'evento: |
giugno 2006 |
| Data: |
2006 |
| ISBN: |
1-4244-9714-2 |
| Intervallo di pagine: |
pp. 153-156 |
| Numero di pagine: |
0 |
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| Depositato il: |
18 Ott 2010 08:15 |
| Ultima modifica: |
30 Apr 2014 19:41 |
| URI: |
http://www.fedoa.unina.it/id/eprint/5618 |
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