Abbate, Giancarlo and Ambrosone, Giuseppina and Coscia, Ubaldo and Marino, Antigone (2010) Spectroscopic ellipsometry study of hydrogenated amorphous silicon carbon alloy films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition. [Pubblicazione in rivista scientifica]
Il contenuto (Full text) non è disponibile all'interno di questo archivio.| Tipologia del documento: | Pubblicazione in rivista scientifica |
|---|---|
| Titolo: | Spectroscopic ellipsometry study of hydrogenated amorphous silicon carbon alloy films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition |
| Autori: | Autore Email Abbate, Giancarlo [non definito] Ambrosone, Giuseppina [non definito] Coscia, Ubaldo [non definito] Marino, Antigone [non definito] |
| Autore/i: | D. K. Basa, G. Abbate, G. Ambrosone, U. Coscia, A. Marino |
| Data: | 2010 |
| Numero di pagine: | 0 |
| Dipartimento: | Scienze fisiche |
| Titolo del periodico: | JOURNAL OF APPLIED PHYSICS |
| Data: | 2010 |
| Volume: | 107 |
| Intervallo di pagine: | pp. 23502-23507 |
| Numero di pagine: | 0 |
| Depositato il: | 21 Ott 2010 07:39 |
| Ultima modifica: | 30 Apr 2014 19:43 |
| URI: | http://www.fedoa.unina.it/id/eprint/7731 |
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