Abbate, Giancarlo and Ambrosone, Giuseppina and Coscia, Ubaldo and Marino, Antigone
(2010)
Spectroscopic ellipsometry study of hydrogenated amorphous silicon carbon alloy films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition.
[Pubblicazione in rivista scientifica]
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Tipologia del documento: |
Pubblicazione in rivista scientifica
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Titolo: |
Spectroscopic ellipsometry study of hydrogenated amorphous silicon carbon alloy films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition |
Autori: |
Autore | Email |
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Abbate, Giancarlo | [non definito] | Ambrosone, Giuseppina | [non definito] | Coscia, Ubaldo | [non definito] | Marino, Antigone | [non definito] |
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Autore/i: |
D. K. Basa, G. Abbate, G. Ambrosone, U. Coscia, A. Marino |
Data: |
2010 |
Numero di pagine: |
0 |
Dipartimento: |
Scienze fisiche |
Titolo del periodico: |
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS |
Data: |
2010 |
Volume: |
107 |
Intervallo di pagine: |
pp. 23502-23507 |
Numero di pagine: |
0 |
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Depositato il: |
21 Ott 2010 07:39 |
Ultima modifica: |
30 Apr 2014 19:43 |
URI: |
http://www.fedoa.unina.it/id/eprint/7731 |
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