Abbate, Giancarlo and Ambrosone, Giuseppina and Coscia, Ubaldo and Marino, Antigone (2010) Spectroscopic ellipsometry study of hydrogenated amorphous silicon carbon alloy films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition. [Pubblicazione in rivista scientifica]

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Tipologia del documento: Pubblicazione in rivista scientifica
Titolo: Spectroscopic ellipsometry study of hydrogenated amorphous silicon carbon alloy films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition
Autori:
AutoreEmail
Abbate, Giancarlo[non definito]
Ambrosone, Giuseppina[non definito]
Coscia, Ubaldo[non definito]
Marino, Antigone[non definito]
Autore/i: D. K. Basa, G. Abbate, G. Ambrosone, U. Coscia, A. Marino
Data: 2010
Numero di pagine: 0
Dipartimento: Scienze fisiche
Titolo del periodico: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
Data: 2010
Volume: 107
Intervallo di pagine: pp. 23502-23507
Numero di pagine: 0
Depositato il: 21 Ott 2010 07:39
Ultima modifica: 30 Apr 2014 19:43
URI: http://www.fedoa.unina.it/id/eprint/7731

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